方卓是在深夜十一點五十二分落地廬州,繼而前往冰芯廠區,到達時已經近凌晨一點。
如此匆匆,只因為這邊通知了新研發實驗室的最新消息,由柴慶良領導的一支團隊在使用新的聚酯環族丙烯酸酯之后構建出了合適的樹脂系,進而在原有的基礎上推出一款ArF刻膠,經初步測試之后呈現的結果是——可用。
只是初步測試,但簡單的兩個字格外人心弦。
“可用”。
任何人都知道易科與冰芯如今的境,也因此,當方卓接到電話,他就知道敢于在這種況通知給自己的信息必然極其關鍵,也必然已經有了相當的把握,只是出于謹慎沒有打出百分百的包票。
凌晨一點十五分,方卓見到做出可用刻膠的研發團隊負責人柴慶良,聽取他對相關況的匯報。
柴慶良語速不快,重點談到新的環族結構對聚合在耐熱、學能等方面的影響,以及,三種配方樹脂的相互作用。
方卓對研發人員的匯報特點已經頗為習慣,耐心聽完這一通講述,詢問道:“這樣的刻膠應用到生產之中,預計剛開始的良率能達到多?”
“30%左右。”柴慶良平靜的答道。
這樣的良率對于一家晶圓制造企業無疑是不合格,是難以提供競爭力的,但是,這已經解決了從無到有的問題。
在座的人都清楚這種突破所能帶來的意義。
不過,作為新的掌門人,王福翔聽到這里還是多說了兩句:“這次的刻膠繼續調整配方分,提高它對波長的敏,降低線寬糙度再提高像質量,相信能在良率上繼續獲得提升。”
他扭頭看向柴慶良,問道:“對吧,我這樣說沒錯吧?”
柴慶良沉片刻,慢吞吞的答道:“理論上是這樣,但實際工作上的推進也不一定,反正就是做做看。”
王福翔有些無奈,這位柴工就是這樣……
實際上,新廬州這邊同時進行著12款刻膠樹脂的研發,原本是另一個團隊比較有希,但沒想到柴慶良這邊先有了突破。
柴慶良這人吧,就是蔫蔫的,給人的覺是“突破了是不錯”“沒突破就沒突破吧”“也許能提高良率”“也許提不了良率”,怎麼著都行,沒有一點激。
但是,如今初步測試的結果已出,他這哪里是蔫,分明是能大事的穩重,是臨危不的沉著,是在紛擾中堅守本心的篤定,是在挑戰面前從容應對的智慧!
王福翔不好反駁功臣的話,眼睛不自覺看向冰芯的資深副總裁閻宗瑞,想讓他談談況。
閻宗瑞還沒說話,辦公室的門忽然被推開,冰芯總裁邱慈云也是匆匆的到了。
方卓起歡迎,簡單寒暄兩句就讓他坐在旁邊一起聽。
“現在這個2-8刻膠還存在不優化空間,30%的良率肯定是能提高的,方總,因為這個不單是刻膠的問題,比如,我們可以做學臨近校正OPC,做相移掩模PSM等優化,這些都可以改善的傳播和相互作用,可以優化圖案的分辨率和對比度。”閻宗瑞過去一年多時間就負責這一塊,不用多想就侃侃而談,“只是說,最終良率能提升到什麼地步,這就不好保證了,50%?60%?”
不管60%還是50%,這和冰芯自先前的競爭力都天差地別。
邱慈云這時候說了句:“閻總,你就直接說你的結論。”
閻宗瑞略一躊躇,簡短的給出代表己方團隊的意見:“夠用。”
夠用!
來自刻膠研發團隊的結論是——可用!
來自冰芯生產線團隊的結論是——夠用!
就算是良率最終停止在50%、60%,這也夠用了!
方卓聽到閻宗瑞斬釘截鐵的兩個字,緩緩的舒了一口氣,又與邱慈云對視一眼,隨即看向首功的柴慶良:“柴總,你有什麼要求?”
你有什麼要求?
這是來自易科掌門人、全球有數富豪、易科系締造者在今天這個凌晨時分給出的話,意思不言而喻,不管有什麼要求,都會盡可能的滿足,能力范圍如此,超出能力范圍恐怕也能竭力爭取。
新的掌門人王福翔聽到這話就是心中一跳,恨不能代替柴慶良回答。
“嗯……”柴慶良用鼻腔發出思考的聲音,半晌之后才答道,“以后提可以嗎?我得好好想想。”
方卓笑了出來:“行,隨時打我電話。”
劉宗宏聽到這話,立即把老板的私人號碼和易信都推給這位柴工。
方卓收起笑容,再看向新的掌門人王福翔,問道:“王總,你有什麼要求?”
王福翔立即答道:“方總,都是為國行業做事,我能有什麼要求,無非就是希咱們上下游都能多發展些,希大家不要看別人的臉,這次新僥幸有點績,我心里由衷的為易科和冰芯高興,不管易科還是冰芯都是行業的領軍者,只要你們好,咱們行業都能跟著好,我們新也就自然而然的好了。”
方卓微微點頭,略一沉:“好,王總,這次要為你們請功。”
邱慈云平復了心,對副總裁閻宗瑞說道:“閻總,我們這邊要做好配合刻膠優化的工作,良率每提升一個點都是好的,除此之外,接下來還要為10nm的優化做準備。”
包括柴慶良,眾人的心里都是一凜,確實,工作還沒結束。
方卓再次謝王福翔與柴慶良,與他們握手之后親自送他們出門,等到回到辦公室,看到邱總正在大口大口的喝茶。
“可用,夠用。”方卓重新落座,雙手掩面,聲音從指里鉆出來,“可用,夠用,嘿!”
“對易科是夠用了,對冰芯還需要很大的優化。”邱慈云用椅背撐住,笑道,“但現在是夠了,是吧?”
方卓往椅子上一靠,雙手用力的在臉上,全的力氣仿佛只夠兩個字的回答:“夠了。”
這是水到渠的水,迎刃而解的刃!
只要能有產能,還有什麼不夠的!
辦公室里的四個人忽然都不出聲,凌晨的寂靜就蔓延了進來。
許久之后,方卓撐起來子,說道:“16nm的刻膠能解決,10nm的就能一就能一以貫之了?”
“不錯。”邱慈云確認了這一點,“我們是用多重曝技,這可以在一定程度上避免大幅調整刻膠的配方來適應更小的工藝節點。”
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